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Αssessment of dielectric charging in micro-electro-mechanical system capacitive switches

机译：评估微机电容性开关中的介电充电

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The assessment of dielectric charging in MEMS capacitive switches is investigated. The information can be obtained only from simultaneous assessment of Metal-Insulator-Metal capacitance and MEMS capacitive switches the former allowing the determination of material properties and the latter of the device.

机译：研究了MEMS电容开关中介电电荷的评估。仅可通过同时评估金属-绝缘体-金属电容和MEMS电容开关来获得信息，前者允许确定材料特性，而后者则可以确定器件。

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作者
M. Koutsoureli; L. Michalas; G. Papaioannou;
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作者单位

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年度 2013
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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